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真空泵油低温板及吸附面的设计

日期:2018-8-15 11:15:43 人气:

真空泵油低温板及吸附面的设计

低温板及吸附面温度的选择应主要考虑被抽气体的成分,要求的极限压力和经济成本三方面。

低温板材料选择应满足热传导率高、机械强度高、发射率低、成本低四方面要求。目前一般采用铝、铜,在铜上镀金或镀银。银是

产生最低氢饱和蒸气压的材料。低温板直接贴紧紧固定在制冷机一级冷头上,为使两者接触良好,在两者之间设铟垫片。

低温板的表面应该是抛光的,机械抛光的表面比其他电化学抛光表面效果要好。

低温板的结构设计应满足一下几点要求:1)进入挡板的气体能直接打在低温板上。2)可凝性气体不能直接打开吸附面上,以免占

据吸附剂的吸附空位,影响对不可凝性气体的抽速。3)非可凝性气体打到吸附剂表面上应当均匀分布,以免影响抽速和吸附容量。

吸附剂的选择应从微观表面积大、热传导性能好、吸附容量高、再生性能好等几方面考虑。目前普遍认为活性炭,特别是椰子壳活

性炭,其微观表面积大、吸附量大,是制冷机低温泵较为理想的吸附剂。

吸附剂的粘接工艺对泵的抽气特性影响较大。目前粘接工艺大约有三种:一是机械夹固;二是用黏结剂粘接;三是用等离子喷涂。

用黏结剂粘结不但会堵塞部分吸附剂微孔,而且在吸附剂与金属板之间由一层黏结剂,使吸附面与金属板之间的温差变大。国外有

人将活性炭和低温板表面用一种3.5%Ag=Zn合金粘结,将活性炭嵌进熔化的合金中,形成3mm厚的平面,此法不堵塞活性炭表面微孔

,使活性炭表面温度比用环氧树脂或低温胶粘结的低。

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