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真空泵机组溅射离子泵的类型选择

日期:2018-8-20 16:16:39 人气:

真空泵机组溅射离子泵的类型选择

二级型溅射离子泵在排除氩、氪和氙等惰性气体时,经常会出现氩压力循环上升的现象,即真空系统内德压力突然脉冲式的上升然

后又下降,压力变化幅度为10-2Pa数量级。这种现象称为“氩不稳定性”。给出了二级型喷溅离子泵在空气压力为10-3Pa时进行数

百小时或在10-4Pa时进行数千小时排气后所出现的氩不稳定性。为克服这种现象,出现了各种改进型的溅射离子泵的几种改进型结

构:

1)二极型泵结构简单,磁铁的磁隙小,只是启动压力低。如果不是在高压力下启动而且对惰性气体抽速无特殊要求,还是选用这种

泵好。

2)如果要求启动压力高,可以采用三极型结构,或采用其他辅助办法。三极型结构工艺复杂,如果是三电位,电源也复杂。

磁铁的磁隙也大了。

3)如果为了抽除氩、氦,可以采用多孔型阴极。但在钽板上打孔麻烦。从工艺上考虑,可以采用非对称型阴极。要从材料上考虑可

以采用二电位三极型。

4)磁控管型和端子板型都是为了提高对氩的抽速。放电强度、溅射能力都提高了,但工艺上困难较大。

5)几种泵对各种气体抽气

能力相差较大,可按具体情况选用。

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